汽車半導體2BE水環真空泵系統解決方案

新能源汽車半導體行業的真空工藝應用有哪些？

1、半導體行業中的蒸發、濺射、PECVD、真空干法刻蝕、真空吸附、測試設備、機械手搬運吸附、自動化真空清掃等鍵合工序里均會用到真空。半導體行業對應的不同的真空要求如中高真空、清掃真空（粗真空）、工藝真空（粗真空）。部分還有要求真空泵向被抽空間內的返流為零，以保護工件免受污染。

2、工藝真空主要利用負壓吸附進行工件搬運或夾持，清掃真空主要利用負壓與大氣壓差進行液體或顆粒的清除或輸送，此類應用中水環真空泵和多級離心風機是非常關鍵的生產輔助設備。

半導體真空系統應用要求及案例：

1.應用要求——半導體行業的工藝特性，要求系統絕對無油，對設備的穩定性和可靠性要求也比較高。

2.應用案例——湖南某電氣公司擁有一流的功率半導體生產線，形成從設計、制造、封裝與測試等全套能力，電氣汽車組件配套建設項目，選用了2套康斯頓2BE水環真空系統，（水環真空泵安全可靠，100%無油，完全滿足半導體行業的工藝真空要求），目前設備安裝調試完畢，機組運行穩定。
該項目全部產能將用于新能源汽車用基材及組件生產，康斯頓(CNST)真空泵系統的應用，整體提升了電氣功率半導體工藝平臺及生產制造能力，真空泵系統/真空泵工藝可滿足新能源汽車領域巨大市場需求，進一步做大做強做優功率半導體產業。

隨著高鐵技術自主化進程，尤其芯片和半導體的國產化，深圳市務明系統集成有限公司專注于真空泵系統方案、真空系統配套設備等服務，為客戶提供創新的真空泵產品和售后維保等一站式服務。

深圳市務明系統集成有限公司專注于真空泵領域，是深圳真空泵生產廠家之一，務明擁有技術團隊研發生產真空泵產品，所研發的真空泵（水環真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵、螺桿真空泵）、真空系統、真空機組等產品廣泛應用于食品、制藥、醫療、化工、家居、電子電池、水環境等行業，并為客戶量身定制行業應用解決方案，務明系統集成公司是深圳集成監控系統公司行業的之一。